ns-zrxy-01高分辨率移相器
典型应用：
对焦
白光干涉
探针校准
表面扫描
物镜调整
光学移相
技术参数：
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型号
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ns-zrxy-01
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运动轴
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z/θx/θy
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开环行程
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θx=θy=±230μrad;z=25μm
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开环分辨率
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0.2nm/0.1μrad/0.1μrad
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响应频率 空载
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823hz
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响应频率 （负载3000g）
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247hz
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刚性
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8.2n/μm
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最大负载
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10kg
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电压范围
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-30~ 50v
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接头
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d-sub15
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线长
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1.5m
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线缆最小弯曲半径
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>15mm
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材料
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太空铝
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尺寸
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φ158×42.3mm
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开孔尺寸
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φ104mm
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重量
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1240g
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注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
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